该厂为8屏幕尺寸晶圆加工线搭配的超纯净水程序，天天存在含硅污废水 150吨。污废水 中虽无高价属，但硅分量高易积垢，且电容率需可达18MΩ·cm才可造纸废水处里。多余处里工序无发考虑新实施的《电子无线制造业水造成的大气污染物直接排放量规范标准》（GB39731-2020）非常直接排放量允许值。 污废水 有效成分优缺点 关键生态破坏物 ：橡胶胶体部分硅（200-300mg/L）、小粒硅（比表面积0.1-1μm） 特出必须 ：TOC<10μg/L，硼硫含量<5μg/L 地表水性质 ：低水的电导率（<50μS/cm）但硅有机物结构较为复杂 正确处理方法过程 创新性选取"梯级膜离心分离+电去阴阳离子"组合名字流程： 微滤预治理 ：1μm瓷质膜屏蔽短信大颗粒肥料硅，通量达到80LMH 铁离子互换聚酯树脂 ：D201大孔聚酯树脂首选性降解硅酸分子结构 中级RO软件系统 ：第一次段收购率60%，第二名段进行高脱硼膜零件 EDI电去化合物 ：电流值密度单位2A/m²，连续清理残留阴阳离子 UV紫外线消毒杀菌 ：254nmUV紫外线服用量40mJ/cm² 的技术创新举措 联合开发专门阻硅剂（巧妙胺类包覆物），廷迟膜感染时间段3倍 EDI模块图片信息化流道来设计，硅祛除率提高了至99.8% 在线播放硅概述仪（精确测量範圍0.1-500μg/L）实行有目的设定 运作认真总结 经三是方论文检测： 总硅从280mg/L低于0.05mg/L 硼占比从8μg/L低于0.3μg/L 整体收废率从原40%改善至68% 膜修改时间提高至5年，年正常运作投入较低35%